Выпуск №2 (Январь)

https://doi.org/10.25313/2520-2057-2018-2

XLI Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы современной науки», 30.05.2019 (Совместная конференция с Международным научным центром развития науки и технологий)

XL Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы современной науки», 28.03.2019 (Совместная конференция с Международным научным центром развития науки и технологий)

МНПК "Цифровая трансформация и инновации в экономике, праве, государственном управлении, науке и образовательных процессах", 18-21.03.2019

XXXIX Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы современной науки», 27.02.2019 (Совместная конференция с Международным научным центром развития науки и технологий)

XIII Международная научно-практическая конференция «Научный диспут: вопросы экономики и финансов», 31.01.2019 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

XXXVIII Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы современной науки», 30.01.2019 (Совместная конференция с Международным научным центром развития науки и технологий)

XXXVІI Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.12.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XXXVI Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.11.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XIII Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы экономики и финансов», 31.10.2018 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

XXXV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.10.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XXXIV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.09.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХXXIII Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.08.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХXXII Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 31.07.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XII Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы экономики и финансов», 31.07.2018 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХXXI Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.06.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХІ Международная научно-практическая конференция «Глобальные проблемы экономики и финансов», 31.05.2018 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

XXХ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.05.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XXIХ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.04.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХХVIІІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.03.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ІІІ МНПК "Экономика, финансы и управление в XXI веке: анализ тенденций и перспективы развития", 19-22.03.2018 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

X Международная научно-практическая конференция «Глобальные проблемы экономики и финансов», 28.02.2018 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХХVІІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 27.02.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХХVІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.01.2018 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XІІ Международная научно-практическая конференция «Научный диспут: вопросы экономики и финансов», 29.12.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХХV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.12.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХХІV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.11.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XI Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы экономики и финансов», 31.10.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

XІ Международная научно-практическая конференция «Научный диспут: вопросы экономики и финансов», 29.09.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХХIІІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.09.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

X Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы экономики и финансов», 31.07.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХXII Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.07.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХXI Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.06.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

IX Международная научно-практическая конференция «Глобальные проблемы экономики и финансов», 31.05.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХX Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.05.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

"Тенденции развития национальных экономик: экономическое и правовое измерение" 18-19.05.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом и ККИБиП)

ХIX Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 27.04.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

IX Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 31.03.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХVIII Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.03.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

МНПК "Экономика, финансы и управление в XXI веке: анализ тенденций и перспективы развития", 20–23.03.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

VIII Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 28.02.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХVII Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 27.02.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VIII Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 31.01.2017 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХVI Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 30.01.2017 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ХV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.12.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VIII Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 28.12.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

VII Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 30.11.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХІV Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.11.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VII Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 31.10.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХІІІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 28.10.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VII Международная научно-практическая конф. «Научный диспут: вопросы экономики и финансов», 30.09.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ХІІ Международная научно-практическая конференция: "Актуальные проблемы современной науки", 29.09.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

XI Международная научно-практическая конференция «Актуальные проблемы современной науки», 30.08.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ІV Международная научно-практическая конф. "Экономика и управление в XXI веке: анализ тенденций и перспектив развития", 29.07.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

X Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 28.07.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VІ Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 30.06.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ІX Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 29.06.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VI Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 31.05.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

VIIІ Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 30.05.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

V Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 29.04.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

VIІ Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 28.04.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

VІ Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 31.03.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ІI Международная научно-практическая конф. "Экономика и управление в XXI веке: анализ тенденций и перспектив развития", 30.03.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

V Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 21-24.03.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

V Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 26.02.2016 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

II Международная научно-практическая конференция: "Научный диспут: актуальные вопросы медицины" 20.02.2016 (Совместная конференция с Международным научным центром)

ІV Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 29.12.2015 (Совместная конференция с Международным научным центром)

IV Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 28.12.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

IV Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 30.11.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

IV Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 29.10.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

Международная научно-практическая конференция: "Научный диспут: актуальные вопросы медицины" 28.10.2015 (Совместная конференция с Международным научным центром)

III Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 30.09.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

III Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы экономики и финансов", 31.08.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ІІІ Международная научно-практическая конференция "Научный диспут: вопросы экономики и финансов", 30.06.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

ІІ Международная научно-практическая конференция "Актуальные проблемы современной науки", 29.06.2015 (Совместная конференция с Международным научным центром)

II Международная научно-практическая конференция "Глобальные проблемы экономики и финансов", 28.05.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

Актуальные проблемы экономики и финансов, 29.04.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

Научный диспут: вопросы экономики и финансов, 31.03.2015 (Совместная конференция с Финансово-экономическим научным советом)

Актуальные проблемы современной науки, 27.03.2015 (Совместная конференция с Международным научным центром)

Глобальные проблемы экономики и финансов, 27.02.2015 (Совместная конференция с финансово-экономическим научным советом)



Новосядлий С. П., Гуменюк Н. Т. Особливості формування польових транзисторів Шотткі із самосуміщеним затвором на основі нітриду та силіциду вольфраму // Міжнародний науковий журнал "Інтернаука". — 2018. — №2.


Отрасль науки: Технические науки
Скачать статью (pdf)

Технічні науки

УДК 621.382

Новосядлий Степан Петрович

доктор технічних наук, професор,

професор кафедри комп’ютерної інженерії та електроніки

Прикарпатський національний університет імені Василя Стефаника

Новосядлый Степан Петрович

доктор технических наук, профессор,

профессор кафедры компьютерной инженерии и электроники

Прикарпатский национальный университет имени Василия Стефаника

Novosjadly Stepan

Doctor of Technical Sciences, Professor

Vasyl Stefanyk Precarpathian National Universit

Гуменюк Назарій Тарасович

студент

Прикарпатського національного університету імені Василя Стефаника

Гуменюк Назарий Тарасович

студент

Прикарпатского национального университета имени Василия Стефаника

Humemjuk Nasar

Student of the

Vasyl Stefanyk Precarpathian National Universit

ОСОБЛИВОСТІ ФОРМУВАННЯ ПОЛЬОВИХ ТРАНЗИСТОРІВ ШОТТКІ ІЗ САМОСУМІЩЕНИМ ЗАТВОРОМ НА ОСНОВІ НІТРИДУ ТА СИЛІЦИДУ ВОЛЬФРАМУ

ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ ПОЛЕВЫХ ТРАНЗИСТОРОВ ШОТТКИ С САМОСОВМЕЩЕННЫМ ЗАТВОРОМ НА ОСНОВЕ НИТРИДА И СИЛИЦИДА ВОЛЬФРАМА

FEATURES OF THE FORMATION OF SCHOTTKY FIELD TRANSISTORS WITH A SELF-CONDENSED GATE ON THE BASIS OF NITRIDE AND TUNGSTEN SILICIDE

Анотація. В даній статті розглянуто особливості технологічних процесів формування польових транзисторів Шотткі арсенід галієвою технологією. А саме технологію формування польових транзисторів Шотткі із самозміщеним затвором на основі нітриду та силіциду вольфраму.

Ключові слова: арсенід галію, польові транзистори Шотткі, нітрид вольфраму, силіцид вольфраму.

Аннотация. В данной статье рассмотрены особенности технологических процессов формирования полевых транзисторов Шоттки арсенид галлиевой технологию. А именно технологию формирования полевых транзисторов Шоттки с самосумищоным затвором на основе нитрида и силицида вольфрама.

Ключевые слова: арсенид галлия, полевые транзисторы Шоттки, нитрид вольфрама, силицид вольфрама.

Summary. In this paper, the peculiarities of the technological processes of the formation of Schottky field transistors by arsenidgale technology are considered. Namely the technology of formation of Schottky field transistors with a self-locking gate on the basis of nitride and tungsten silicide.

Key words: gallium arsenide, Schottky field transistors, tungsten nitride, tungsten silicide.

Вступ. Схемотехніка сучасних схем на GaAs базується на використанні n-канальних польових транзисторів із затвором Шотткі (ПТШ). У разі переходу до комплементарних схем на ПТШ однією з основних проблем є доволі низька висота бар'єру Шотткі на арсеніді галію р-типу. Одним із способів вирішення цієї проблеми є використання нітрид них або силіцидних сполук вольфраму для формування затворів заданої товщини та складу [1-3].

В даній статті висвітлено особливості формування швидкодіючих транзисторів на р-GaAs із самосуміщеним затвором на основі нітриду чи силіциду вольфраму, отриманих за допомогою горизонтального реактора

пониженого тиску Ізотрон-4.

Мета статті. Дослідження особливостей технології формування польових транзисторів Шотткі із самосуміщеним затвором на основі силіциду вольфраму та осадження силіциду вольфраму із газової фази в реакторі пониженого тиску.

  1. Особливості формування ПТШ із самосуміщеним затвором.

Основні технологічні процеси виготовлення польових транзисторів  Шотткі із самосуміщеним затвором показано на рис.1.[1].

Рис. 1. Технологія формування само суміщених ПТШ

Структуру ПТШ формують на напівізолюючій підкладці GaAs, де селективним іонним легуванням підкладки кремнієм (Si++) через маску SiO2,формують n-шар товщиною 0,08-0,1мкм. В цьому шарі розміщують канал ПТШ, на поверхні якого формують затвор.

Затвор транзистора представляє смугу силіциду вольфраму довжина 0,8мкм. Силіцид вольфраму вибраний в ролі затвора тому,щоб витримати фотонну обробку при T˃7000С для зменшення опору.

При формуванні стік-витокових областей n+-типу використовують селективне епітаксійне вирощування за допомогою газохімічних реакцій із металоорганічних сполук або молекулярно-променеву епітаксію. Дальше наносять шар діелектрика та проводять фотонний відпал для активації і зменшення радіаційної дефектності,що приводить до суттєвого збільшення рухливості носіїв заряду. Плазмохімічним травленням відкривають вікна під контакти в діелектрику і формують контакти до стік−витокових областей нанесенням металевого шару з сплаву AlGe-12  використовуючи іонне фрезерування [2].

Для ПТШ із самосуміщенням затвором при LЗ=1,5 мкм і b=1мм були отримані наступні електрофізичні параметри:Uт=0,6В,Rн=0,75Ом,S/b=87 мCм/мм. В порівнянні з ПТШ,сформованим без самосуміщення і тих же розмірів опір витоку зменшевся в 5-8 разів,а крутизна зросла в 3-5 разів. В структурі із само суміщеним затвором пробивна напруга на затворі визначається концентрацією домішок в n+− областях бо вони примикають до затвора. При енергії іонів в 150 еВ і дозі (1,7-2)1013см-2,максимальна концентрація донорів в n+- областях 7*1017÷1*1018см-3,а пробивна напруга затвора 6-10В. Недоліком таким чином сформованої структури ПТШ із самосуміщеним затвором є дещо збільшені паразитні ємності затвор-витік і затвор-стік ,які можна зменшити використовуючи високу растрову літографію[3].

  1. Технологія осадження силіциду вольфраму із газової фази в реакторі пониженого тиску.

В арсенід галієвій технології може використовуватися силіцидний затвор, що дозволяє зменшити порогову напругу та опір багаторівневої розводки транзисторів.

Для отримання плівок було вибрано низькотемпературний процес осадження силіциду вольфраму в реакторі пониженого тиску типу Ізотрон- 4. В такому реакторі дисиліцид вольфраму вирощують з швидкістю 100 ÷ 500 А0/хв за температури 350 ÷ 400°С і тиску 0,2 мм.рт.ст. Осадження плівок дисиліциду вольфраму, відбувалося за реакцією:

                          (1)

Дана реакція передбачає такий механізм розкладу і взаємодії моносилану   (SiH4) [4]:

                                        (2)

                                   (3)

                                         (4)

Елементний і фазовий склад отриманих плівок WSix досліджувались

за допомогою зворотного резерфордівського розсіювання і дифракції рентгенівського випромінювання на плівках товщиною 0,25 ÷ 0,5 мкм. Дослідженням встановлено, що вміст кремнію в плівці WSix залежить від швидкості потоку моносилану і концентрації, при чому оптимальною є концентрація 20÷25%.

Дослідження плівок методом електронної мікроскопії показало, що осаджені за температури 400 °С плівки мають мікрокристалічну структуру  з розміром зерна 2 ÷ 3 нм. Після фотонного відпалу за температури 500°С плівки стають полікристалічними і мають гексагональну структуру. Підвищення температури відпалу призводить до збільшення зерна, а при температурі 620°С відбувається перехід від гексагональної модифікації в тетрагональну. Дана технологія забезпечує високу рівномірність осадження,що дозволяє ефективно використовувати її для формування пленарних структур ІС на GaAs. 

Висновки

  1. Досліджено технології формування р-контактних ПТШ, які дозволяють реалізувати високошвидкісні комплементарні структури ІС на арсеніді галію.
  2. Для збільшення швидкодії логічних схем на комплементарних ПТШ розроблена низькотемпературна технологія самосуміщення затвору на основі нітриду та силіциду вольфраму.
  3. Силіцидна технологія формування затворів ПТШ на арсеніді галію дозволяє формувати високоякісні комплементарні структури для ВІС з малою величиною порогових напруг.

Література

  1. Новосядлий С. П. Суб- і наномікронна технологія структур ВІС / С.П. Новосядлий. - Івано-Франківськ : Місто НВ. - 2010. - 455 с.
  2. Новосядлий С. П. Сучасні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС / С. П. Новосядлий, А. І. Терлецький, О. Б. Фрик // Східно-Європейський журнал новітніх технологій. - 2010. - 3/7(45). - С. 52-60.
  3. Новосядлий С. П. Фізико-технологічні основи субмікронної технології ВІС / С. П. Новосядлий. - Івано-Франківськ : Сімик. – 2003. – 370 с.
  4. Новосядлий С. П. Технологія епітаксійного формування силіцидів для підвищення швидкодії ВІС / С. П. Новосядлий, А. І. Терлецький, О. Б. Фрик // Матеріали ІІІ Міжнародної науково-практичної конференції "Фізико-технологічні проблеми радіотехнічних пристроїв, засобів телекомунікацій, нано- та мікроелектроніки". - 24-26 жовтня 2013. - Чернівці. - Україна. - С. 167.