Фізико-математичні науки Російською Відкритий доступ
Способ повышения чувствительности измерений микрорельефа периодической поверхности
Носков Михайло Федорович, Букатов Олександр Вікторович, Овчинніков Сергій Сергійович
Міжнародний науковий журнал «Інтернаука», № 6, вересень 2015
English
Method of increasing measurement sensitivity microrelief periodic surfase
Abstract. A method of increasing the sensitivity of measurements, based on nonlinear photographic interference pattern and process it using the program Femtoscan, measurement sensitivity.
Keywords: double-beam microinterferometer; nonlinear photo registration; reflective diffraction grating; the program Femtoscan
Як цитувати
Носков М. Ф., Букатов О. В., Овчинніков С. С. Способ повышения чувствительности измерений микрорельефа периодической поверхности. Міжнародний науковий журнал «Інтернаука». 2015. № 6.
@article{internauka345,
author = {Носков, Михайло Федорович and Букатов, Олександр Вікторович and Овчинніков, Сергій Сергійович},
title = {Способ повышения чувствительности измерений микрорельефа периодической поверхности},
journal = {Міжнародний науковий журнал «Інтернаука»},
year = {2015},
number = {6},
url = {https://www.inter-nauka.com/issues/2015/6/345}
}
TY - JOUR AU - Носков, Михайло Федорович AU - Букатов, Олександр Вікторович AU - Овчинніков, Сергій Сергійович TI - Способ повышения чувствительности измерений микрорельефа периодической поверхности JO - Міжнародний науковий журнал «Інтернаука» PY - 2015 IS - 6 SN - 2520-2057 UR - https://www.inter-nauka.com/issues/2015/6/345 LA - ru ER -